純源純離子真空鍍膜設備系列

PIS624/PIS622純離子鍍膜設備主要是集純離子鍍膜技術（PIC）、 高能離子束清洗技術（IONBEAM）和磁控濺射技術（SPUTTER）三種技術融合一體，除了可以鍍制常規厚度（1-2μm）、厚膜（6μm），以及超厚（20-25μm）的各種厚度的Ta-C膜層，還可以鍍制TiN、TiC、CrN、Cu、Ag、DLC等其他純金屬及金屬復合膜層。

設備可適應各種鍍膜靶材，無論金屬還是介質、化合材料都可以利用濺射工藝進行鍍膜及成膜，使膜層具有高致密度、超硬、耐磨損、耐腐蝕等特點。可鍍制可編程序控制器（PLC）+觸摸屏（HMI）組合電氣控制系統，全自動控制。

產品簡介：

? PIS系列是純離子鍍膜技術（PIC）、 高能離子束清洗技術（IONBEAM）和磁控濺射技術（SPUTTER）三種技術集大成者；

? 將*具有代表性的PVD技術與公司專利技術完美融合，可滿足多種應用場景使用需求，特別是高性能硬質涂層需求；

? 可鍍涂層厚度范圍廣：可鍍100nm-20μm的超級類金剛石Ta-C膜層；

特點及優勢：

? 高效過濾系統可過濾掉大顆粒離子團和原子團，膜層致密、粘附性好；

? 電磁掃描系統，可定點定時控制等離子體的束流方向，極大改善涂層均勻性，整爐膜層均勻性控制±5%以內；

? 優化的靶面磁場設計及冷卻設計，維護方便，靶材可以連續24小時工作；

? 采用通用接口尺寸，模塊化設計、互換性強，優化升級方便；

? 交鑰匙設備，純源公司提供整套解決方案，設備交接后即可投產；

應用領域：

? 國防**、航空航天、高校及科研院所、工業耗材制造、消費電子行業等;

? 汽車和柴油車發動機關鍵零部件;

? 紡織行業關鍵零部件;

? 高端切削刀具以及醫療器械行業。

設備出貨

應用領域和范圍：

?  國 防、軍 工、航空、航天、高校及科研院所、3C消費電子行業

?  汽車和柴油車發動機關鍵零部件、紡織行業零部件、高端切削刀具、醫療器械；

?  本項目為交鑰匙設備，純源公司提供整套解決方案，包括穩定成熟鍍膜配方，設備交接后即可投產；

?  真空室尺寸，設備外觀等可按客戶產品或及特殊工藝要求訂做，外圍尺寸根據客戶安裝場地條件可做調整。